真空泵故障的分类
就像人要生病一样，真空泵在运行中也会发生故障。从故障发生的原因、造成的危害性、发生的快慢、发生的范围、频率等可分为不同的类别。从实际真空泵故障的角度可以分为以下几类：
一、按发生的故障的过程分，故障缓慢发生为见渐发性故障，故障突然发生为突发性故障
二、按发生故障次序分，分为原发性故障和继发性故障
原发性故障，往往现在某局部发生小故障，此故障暂时未被发现或对真空泵运转未造成大影响。
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如何选择合适的真空泵
选用真空泵时，需要留意下列事项：
1、真空泵的工作压强应该知足真空设备的极限真空及工作压强要求。如：某真空干燥工艺要求10mmHg的工作真空度，选用的真空泵的极限真空度至少要2mmHg，能达到1mmHg。通常选择泵的极限真空度要高于真空设备工作真空度半个到一个数目级。
2、准确地选择真空泵的工作点。每种泵都有一定的工作压强范围，如：2BV系列水环真空泵工作压强范围760mmHg~25mmHg（绝压），在这样宽压强范围内，泵的抽速随压强而变化（具体变化情况参照泵的机能曲线），其不乱的工作压强范围为760~60mmHg。因而，泵的工作点应该选在这个范围之内较为相宜，而不能让它在25~30mmHg下长期工作。
3、真空泵在其工作压强下，应能排走真空设备工艺过程中产生的全部气体量。
4、准确地组合真空泵。因为真空泵有选择性抽气，因而，有时选用一种泵不能知足抽气要求，需要几种泵组合起来，互相增补才能知足抽气要求。如钛升华泵对氢有很高的抽速，但不能抽氦，而三极型溅射离子泵，（或二极型非对称阴极溅射离子泵）对有一定的抽速，两者组合起来，便会使真空装置得到较好的真空度。另外，有的真空泵不能在大气压下工作，需要预真空；有的真空泵出口压强低于大气压，需要前级泵，故都需要把泵组合起来使用。
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真空泵设备定期检修维护须知
泵油随着真空泵的运转恶劣，因而需要通过油视窗查明的污浊程度及粘度情况，并及时替换泵油。替换泵油的周期：每六个月换油清洗一次。泵油替换步骤如下：
A、打开泵的吸气管，5秒后使其开始运行。泵内剩下的泵油容易被排除。
B、先拆下排气管，在打开放油阀，然后倒出泵油
C、关闭排油阀，把新的真空泵油从加油口注入
D、如果泵油的污染非常严重，必须添加些新泵油，通过几分钟运转使其得到清洗，假如一遍清洗不到位，必须反复多清洗几遍
E、换上新泵油后，让泵开机运行，等温度升高以后在确认真空极限压力
F、检修过程需清洗过滤网
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